.
1 | Tekanan kerja maksimal 20,6 Mpa. |
2 | Maks.suhu kerja 204 ℃ (lingkungan suhu dhuwur nganti 454 ℃, ing wektu iki materi sealing diganti karo grafit ditambahi) |
3 | Sistem Filter Polusi partikel, gas, cairan bisa ditrapake. |
4 | Stainless steel bubuk metalurgi sintered filter akurasi 2μm ~ 40μm |
5 | Aliran saringan 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filter bisa diganti. |
Fitur Produk Filter
1 | Kisaran aplikasi sing wiyar, kisaran aliran saka 15 nganti 300SL / min. |
2 | Nduwe kompatibilitas sing apik karo paling akeh gas proses semikonduktor kemurnian dhuwur. |
3 | Kapasitas filtrasi nanopartikel 3 njaga efisiensi aliran dhuwur lan penurunan tekanan ultra-cilik. |
4 | 5Ra lumahing electropolished bisa nyegah polusi internal. |
5 | Panggang karo nitrogen panas sawise banyu deionized kanggo ketemu standar proses semikonduktor. |
6 | 1000 tingkat produksi bengkel aseptik bebas debu, lingkungan pembersihan lan kemasan. |
7 | Tes kanggo 100% bocor helium. |
mlebu | Outlet | |
1 | 1/8" fitting tabung | 1/8" fitting tabung |
2 | 1/4" tabung pas | 1/4" tabung pas |
3 | 3/8" fitting tabung | 3/8" fitting tabung |
4 | 1/2" fitting tabung | 1/2" fitting tabung |
5 | 6mm tabung fitting | 6mm tabung fitting |
6 | 8mm tabung fitting | 8mm tabung fitting |
7 | 10 MM tabung pas | 10 MM tabung pas |
8 | 12 MM tabung fitting | 12 MM tabung fitting |
9 | 1/8″ NPT wadon | 1/8″ NPT wadon |
10 | 1/4″ NPT wadon | 1/4″ NPT wadon |
11 | 1/4″ NPT lanang | 1/4″ NPT lanang |
12 | 3/8″ NPT lanang | 3/8″ NPT lanang |
13 | 1/2″ NPT lanang | 1/2″ NPT lanang |
Parameter Kinerja Produk Filter
1 | Akurasi Filtering | ≥0,0025μm | |
2 | Efisiensi filtrasi | Tingkat mbusak99.99999%≥0.0025μm | |
3 | Dirating aliran | 15L/Min | |
4 | 60L/Min | ||
5 | 120L/Min | ||
6 | 200L/Min | ||
7 | 300L / Min | ||
8 | Komposisi saringan | unsur panyaring | 316L/PTFE |
9 | omah | baja tahan karat 316L | |
10 | Kondisi kerja | Tekanan inlet maksimum | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Tekanan diferensial maksimum | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Suhu operasi maksimum | 430 ℃ (gas inert) | |
13 | Tingkat kebocoran helium | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Rampung lumahing | ≤Ra 5μin |