Peralatan perawatan gas buntut bisa ngatasi gas sing digunakake ing proses etching lan proses hasil kimia, yaiku sih, lan NF3, SF6, NH3, lan liya-liyane.
Cara Perawatan Gas Exhaust
Miturut karakteristik perawatan gas exhaust, perawatan kasebut bisa dipérang dadi papat jinis perawatan:
1. Tipe cuci banyu (perawatan gas corrosive)
2. Tipe pengoksidaan (urusan nganggo gas sing bisa dibakar lan beracun)
3 .. adsorption (miturut jinis materi adsorption kanggo ngatasi gas exhaust sing cocog).
4.Plasma jinis pangobong (kabeh jinis gas exhaust bisa diobati).
Saben jinis perawatan duwe kaluwihan lan kekurangan uga lingkup aplikasi kasebut. Nalika cara perawatan cuci banyu, peralatan kasebut murah lan prasaja, lan mung bisa ngatasi gas larut banyu; Rentang aplikasi jinis cuci banyu listrik luwih dhuwur tinimbang jinis cuci banyu, nanging biaya operasi dhuwur; Tipe garing duwe efisiensi perawatan sing apik, lan ora ditrapake kanggo aliran gas sing gampang ditrapake utawa mili.
Bahan kimia lan produk sing umum digunakake ing industri semikonduktor bisa dikategorikaké miturut sipat kimia lan kisaran sing beda:
1. Gas sing bisa dibakar kayata sih4h2, lsp.
2. Gas beracun kayata Ash3, Ph3, lsp.
3. Gas korosive kayata HF, HCL, lsp.
4. Gas omah kaca kayata CF4, NF3, lsp.
Wiwit papat gas kasebut mbebayani kanggo lingkungan utawa awak manungsa, kudu nyegah emisi langsung, saengga aplikasi iki mung diinstal kanthi gas perawatan gas sing dawa, lan ora bisa ngatasi buar gas, nanging ora bisa ngatasi gagasan gas, lan ora bisa ngatasi gagang scrubbing sing dawa. Mula, perlu milih lan cocog karo peralatan perawatan gas sing cocog karo ciri gas sing asale saka saben proses supaya bisa ngatasi masalah gas sing gedhe kanthi cara sing sithik. Minangka wilayah sing digunakake biasane saka sistem perawatan gas Exhaust tengah, asring amarga ciri gas nyebabake kristalisasi pipa, lan ing kasus serius, malah nyebabake kesebaran kerja. Mula, ing wilayah kerja kudu ngatur piranti perawatan gas sing cilik sing cocog kanggo karakteristik gas, supaya bisa nyuda gas exhaust sing stagnant ing wilayah kerja, kanggo njamin keamanan personel.
Wektu Pos: Aug-10-2023