Industri gas ing industri semikonduktor

Panggunaan gas ing industri semikonduktor tanggal bali menyang wiwitan taun 1950 yaiku. Sajrone proses pabrik semikonduktor, gas biasane digunakake kanggo ngresiki bahan semikonduktor kanggo njamin kesucian lan kualitas. Antarane gas sing paling umum digunakake yaiku nitrogen lan hidrogen.

Minangka teknologi semikonduktor lan proses manufaktur terus nambah, panjaluk gas tambah tambah. Ing taun 1970, pangembangan teknologi manufaktur semikonduktor, aplikasi gas ing proses kunci kayata etching lan deposisi film tipis saya tambah akeh, lan gas fluorida digunakake digunakake etching lan komposisi. 1980 ndeleng nambah permintaan kanggo gas kanthi pangembangan sirkuit terintegrasi lan nambah permintaan kanggo dheweke. Hidrogen digunakake ing proses manufaktur, kalebu panyebaran hidrogen lan deposisi uap hidrogen. Lan wiwit taun 1990 nganti saiki, panjaluk gas kanthi murni lan gas tartamtu wis saya tambah minangka ukuran piranti semikonduktor wis terus nyuda lan proses anyar wis dikenalake. Contone, aplikasi lithographet ultraviolet ekstrem (EUV) mbutuhake panggunaan gas-gas sing dhuwur banget kayata nitrogen lan hidrogen.

Gas semikonduktor terus mundhak kanthi pangembangan produk sing gegandhengan sing didorong luwih akeh produk sing diturunake, amarga produk gas, lan peran gas, lan sapiturute, lan peran kasebut kaya ing ngisor iki:

Regulator tekanan: Regulator tekanan yaiku piranti sing digunakake kanggo ngontrol tekanan gas. Biasane kalebu katup regulator lan sensor tekanan. Regulator tekanan njupuk input gas tekanan tinggi lan stabilake tekanan gas output kanthi nyetel katup kanggo nyukupi syarat aplikasi tartamtu. Pengatur tekanan digunakake ing wilayah kayata industri, pabrik lan laboratorium, uga ing industri semikonduktor, antara liya, kanggo njamin stabilitas lan safety sumber gas.

Klep gas: katup gas digunakake kanggo ngontrol aliran gas lan kanggo nutup wacana gas. Biasane duwe fungsi / mati sing mbukak utawa nutup aliran gas. Ana macem-macem jinis katup gas, kalebu katup manual, katup listrik lan katup pneumatik. Dheweke digunakake ing sistem gas kanggo ngontrol aliran, tekanan lan tingkat gas.

Gas Tekanan Gas: Gas Tekanan Gas digunakake kanggo ngukur tingkat tekanan gas. Biasane dipasang ing lokasi kritis ing sistem gas kanggo ngawasi owah-owahan tekanan lan mesthekake yen ana watesan sing aman. Tolakan tekanan gas digunakake ing industri, pabrik lan laboratorium, lan industri semikonduktor uga wis melu.

Detektor bocor gas: Detektor bocor gas digunakake kanggo ndeteksi bocor ing sistem gas. Dheweke ndeteksiNgarsane bocor gas lan muni weker supaya tumindak tepat wektu kasebut bisa dijupuk kanggo nyegah kacilakan bocor. Detektor bocor gas digunakake digunakake ing industri, kimia, minyak lan gas, lan industri semikonduktor uga wis melu.