Gasurnurs Ultra-Highlity gas penting ing saindenging rantai persediaan semikonduktor. Nyatane, kanggo kain khas, gas-murni gedhe minangka biaya material paling gedhe sawise silikon dhewe. Ing wayahe kekurangan chip global, industri kasebut tuwuh luwih cepet tinimbang sadurunge - lan panjaluk kanggo gas kesucian sing dhuwur saya tambah akeh.
Gas akeh sing paling umum digunakake ing manufaktur semikonduktor yaiku nitrogen, helium, hidrogen lan argon.
NITrogen
Nitrogen nggawe 78% suasana kita lan akeh banget. Iki uga kedadeyan dadi kimia iner lan ora konduktif. Akibaté, Nitrogen wis nemokake pirang-pirang industri minangka gas sing larang regane larang regane.
Industri semikonduktor minangka konsumen utama nitrogen. Tanduran pabrik semikonduktor sing diarepake kudu digunakake nganti 50.000 meter nitrogen kaping 50.000 kubik nitrogen saben jam. Ing manufaktur semikonduktor, tumindak nitrogen minangka tujuan umum kanggo nyiksa lan ngresiki gas, nglindhungi wafers silikon sensitif saka oksigen reaktif ing udhara.
Helium
Helium minangka gas sing ora peduli. Iki tegese, kaya nitrogen, helium kimia inert - nanging uga duwe kauntungan tambahan saka konduktivitas termal sing dhuwur. Iki migunani banget ing manufaktur semikonduktor, saéngga tumindak kanthi cepet saka proses energi lan mbantu nglindhungi saka karusakan termal lan reaksi kimia sing ora dikarepake.
Hidrogen
Hidrogen digunakake kanthi akeh sajrone proses pabrik elektronik, lan produksi semikonduktor ora ana sing istiméwa. Khususé, hidrogen digunakake kanggo:
Annealing: wafers silikon biasane dipanaskan ing suhu sing dhuwur lan alon-alon digawe kanggo ndandani (anneal) struktur kristal. Hidrogen digunakake kanggo mindhah panas kanthi merata kanggo wafer lan ngewangi kanggo mbangun maneh struktur kristal.
Epitexy: Kesucian hidrogen sing paling dhuwur digunakake minangka agen nyuda ing deposisi epitiker saka bahan semikonduktor kayata silikon lan germanium.
Deposit: Hidrogen bisa diluncurake menyang film silikon kanggo nggawe struktur atom sing luwih dirusak, mbantu nambah resettivitas.
Pembersihan Plasma: Plasma hidrogen utamane kanggo ngilangi kontaminasi timah saka sumber cahya sing digunakake ing UV Lithografi.
Argon
Argon minangka gas liyane, saéngga nampilake reaktivitas sing padha karo nitrogen lan helium. Nanging, energi ionisasi murah Argon nggawe migunani ing aplikasi semikonduktor. Amarga sing gampang ditindakake ionisasi, Argon digunakake minangka gas plasma utama kanggo reaksi etch lan simpenan ing Pabrik Semikonduktor. Kajaba iku, Argon uga digunakake ing laser Expimer kanggo UV Lithografi.
Napa kesucian penting
Biasane, maju ing teknologi semikonduktor wis digayuh kanthi skala ukuran, lan teknologi semikonduktor anyar ditondoi kanthi ukuran fitur sing luwih cilik. Iki ngasilake macem-macem keuntungan: liyane transistor ing volume sing diwenehake, sing luwih apik, konsumsi daya murah lan ngalih kanthi cepet.
Nanging, amarga ukuran kritis nyuda, piranti semikonduktor dadi tambah canggih. Ing jagad sing posisi atom sing penting, ambang toleransi kesalahan banget. Akibaté, proses semikonduktor modern mbutuhake gas proses kanthi kesucian sing paling dhuwur.
Wofly minangka perusahaan teknologi tinggi sing duwe spesialisasi ing Teknik Sistem Aplikasi Gas: Sistem Gas Utama, Sistem Piping Gas Nasional, Sistem Pangiriman Bulk, Sistem Preferensial Gas, Komponen Perangkat Lunak, Pamasangan lan Konstruksi Situs proyek, uji coba sistem, pangopènan lan produk sing ndhukung liyane kanthi cara terintegrasi.
Wektu kirim: Jul-11-2023