Minangka pasar semikonduktor thukul, standar kanggo kesucian lan akurasi dadi luwih ketat. Salah sawijining faktor sing nemtokake babagan kualitas manufaktur semikonduktor yaiku gas sing digunakake ing proses kasebut. Gas-gas iki main akeh peran ing proses manufaktur, kalebu:
Kontrol Proses Presisi
Nyegah contamination
Peningkatan Properti Metalururgis
Kanggo nindakake peran kasebut kanthi efektif, sumber gas lan sistem distribusi kudu efisien. Desain sistem penanganan gas sing digunakake ing pabrik semikonduktor kudu didhukung dening komponen sing kuat lan majelis khusus kanggo njamin produksi semikonduktor sing bisa dipercaya lan berkualitas tinggi lan bermutu.
Gas sing digunakake ing manufaktur semikonduktor
Proses panyebaran semikonduktor mbutuhake nggunakake gas sing beda-beda ing macem-macem tahap proses kasebut.
Nalika gas umum kayata nitrogen, hidrogen, helium bisa digunakake ing bentuk murni, proses tartamtu bisa uga mbutuhake campuran khusus. Silanes utawa siloxanes, hilides, halides lan hidrokarbon sawetara gas khusus sing digunakake ing pabrik semikonduktor. Akeh gas kasebut bisa mbebayani utawa reaktif, nggawe tantangan ing pilihan lan desain komponen kanggo sistem gas.
Ing ngisor iki sawetara conto:
\ \ Hidrogen lan helium bisa bocor saka piping lan sistem pas amarga ukuran atom lan bobot cilik.
\ Sailanes banget flammable lan bisa spontan kanthi spontan (autoignite) ing udhara.
\ Nitrogen diforasi digunakake ing pemendhotan kasebut, etching lan reresik reresik ruangan dadi gas griya ijo kanthi bocor ing lingkungane.
\ \ Fluorida hidrogen (etching gas) banget korosif kanggo piping logam.
\ Trimethylgalglium lan amonia bisa angel ditangani - fluktuasi cilik ing suhu lan syarat tekanan bisa mengaruhi proses pemetangan kasebut.
Ngontrol proses proses kanggo nyilikake efek negatif saka gas kasebut kudu dadi prioritas utama sajrone desain sistem. Penting banget kanggo nggunakake komponen kualitas sing paling dhuwur kayata katup diafragma AFK sajrone proses mbangun.
Tantangan desain sistem
Gas kelas semikonduktor paling akeh kesucian lan nyedhiyakake kahanan inert utawa nambah reaksi ing macem-macem tahap proses manufaktur, kayata gas. Bocor utawa kontaminasi gas kaya bisa duwe efek negatif. Mula, iku kritis kanggo komponen sistem sing digunakake kanthi hermetically lan tahan karat uga bisa rampung (Polandia lancar) kanggo mesthekake yen ora ana kemungkinan kontaminasi lan bisa uga ana kemungkinan kontaminasi sing dhuwur banget.
Kajaba iku, sawetara gas kasebut bisa digawe panas utawa adhem kanggo entuk proses proses sing dikarepake. Komponen sing terisolasi njamin kontrol suhu, sing kritis kanggo kinerja produk pungkasan.
Saka inlet sumber menyang titik panggunaan, macem-macem komponen sing ndhukung kemurnian, suhu, tekanan lan kontrol aliran dibutuhake ing resik semikonduktor lan ruang vakum.
Sistem sing dirancang kanthi komponen kualitas ing Fabs Semikonduktor
Peranan komponen lan optimisasi desain kritis kanggo kontrol sing tepat lan pabrik semikonduktor sing aman. Komponen sing digunakake kudu tetep kuat lan bocor kanggo cocog karo kahanan proses sing beda-beda ing macem-macem tahap proses, fittings, piping, piping, lan seger,
Kemurnian Ultra-High
Segera bocor-free
Penebat sing dikendhaleni suhu
Kontrol Tekanan
Rintangan Korosi
Perawatan Polandia elektrolitik
Wektu Pos: Oct-09-2023