Teknologi pipa gas kemurnian dhuwur minangka bagéyan penting saka sistem pasokan gas kemurnian dhuwur, yaiku teknologi kunci kanggo ngirim gas kemurnian dhuwur sing dibutuhake menyang titik panggunaan lan isih njaga kualitas sing berkualitas;Teknologi pipa gas kemurnian dhuwur kalebu desain sistem sing bener, pilihan fitting lan aksesoris, konstruksi lan instalasi, lan tes.Ing taun-taun pungkasan, syarat sing saya ketat babagan isi kemurnian lan impurity gas kemurnian dhuwur ing produksi produk mikroelektronik sing diwakili dening sirkuit terpadu skala gedhe wis nggawe teknologi pipa gas kemurnian dhuwur tambah prihatin lan ditekanake.Ing ngisor iki ringkesan ringkes babagan pipa gas kemurnian dhuwur saka pilihan materialof construction, uga acceptance lan manajemen saben dina.
Jinis gas umum
Klasifikasi gas umum ing industri elektronik:
Gas umum(Gas akeh）: hidrogen (H2)nitrogen (N2oksigen (O2), argon (A2), lsp.
Gas khususiku SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… lsp.
Jinis gas khusus umume bisa diklasifikasikake minangka korosifgas, beracungas, gampang kobonggas, kebakargas, inertgas, lsp. Gas semikonduktor sing umum digunakake umume diklasifikasikake kaya ing ngisor iki.
(i) Korosif / beracungas: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…dll.
(ii) Kebakarangas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… etc.
(iii) kebakarangas: O2, Cl2, N2O, NF3… lsp.
(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He...etc.
Akeh gas semikonduktor mbebayani kanggo awak manungsa.Utamane, sawetara gas kasebut, kayata SiH4 pembakaran spontan, anggere bocor bakal nanggepi ganas karo oksigen ing udhara lan wiwit kobong;lan ASH3Highly beracun, sembarang bocor tipis bisa nimbulaké risiko urip manungsa, iku amarga beboyo ketok iki, supaya syarat kanggo safety saka desain sistem utamané dhuwur.
Ruang lingkup aplikasi gas
Minangka bahan baku dhasar sing penting ing industri modern, produk gas akeh digunakake, lan akeh gas umum utawa gas khusus digunakake ing metalurgi, baja, petroleum, industri kimia, mesin, elektronik, kaca, keramik, bahan bangunan, konstruksi. , pangolahan panganan, obat-obatan lan sektor medis.Aplikasi gas duwe pengaruh penting ing teknologi dhuwur ing lapangan kasebut, lan minangka gas bahan mentah utawa gas proses sing ora bisa ditindakake.Mung kanthi kabutuhan lan promosi macem-macem sektor industri anyar lan ilmu pengetahuan lan teknologi modern, produk industri gas bisa dikembangake kanthi cepet ing babagan macem-macem, kualitas lan kuantitas.
Aplikasi gas ing industri mikroelektronik lan semikonduktor
Panggunaan gas tansah nduweni peran penting ing proses semikonduktor, utamane proses semikonduktor wis akeh digunakake ing macem-macem industri, saka ULSI tradisional, TFT-LCD nganti industri mikro-elektro-mekanik (MEMS), kabeh sing nggunakake proses semikonduktor sing disebut minangka proses manufaktur produk.Kemurnian gas duwe pengaruh sing nemtokake kinerja komponen lan asil produk, lan safety pasokan gas ana gandhengane karo kesehatan personel lan safety operasi pabrik.
Pentinge pipa kemurnian dhuwur ing transportasi gas kemurnian dhuwur
Ing proses leleh lan nggawe bahan stainless steel, kira-kira 200g gas bisa diserap saben ton.Sawise pangolahan stainless steel, ora mung lumahing lengket karo macem-macem rereged, nanging uga ing kisi logam uga digunakke jumlah tartamtu saka gas.Nalika ana aliran udara liwat pipa, logam nyerep bagean gas iki bakal mlebu maneh aliran udara, ngrusak gas murni.Nalika aliran udara ing tabung iku aliran pedhot, tabung adsorbs gas ing meksa, lan nalika aliran udara mandheg liwat, gas adsorbed dening tabung mbentuk gulung meksa kanggo mutusake masalah, lan gas mantun uga lumebu ing gas murni ing tabung. minangka impurities.Ing wektu sing padha, adsorpsi lan résolusi sing bola-bali, supaya logam ing lumahing utama tabung uga mrodhuksi jumlah tartamtu saka wêdakakêna, lan partikel bledug logam iki uga rereged gas murni nang tabung.Karakteristik tabung iki penting kanggo njamin kemurnian gas sing diangkut, sing mbutuhake ora mung kelancaran permukaan jero tabung sing dhuwur banget, nanging uga resistensi nyandhang sing dhuwur.
Nalika gas kanthi kinerja korosif sing kuat digunakake, pipa baja tahan karat sing tahan karat kudu digunakake kanggo pipa.Yen ora, pipa bakal ngasilake bintik-bintik karat ing permukaan njero amarga karat, lan ing kasus-kasus serius, bakal ana area pengupasan logam utawa malah perforasi sing gedhe, sing bakal ngrusak gas murni sing bakal disebarake.
Sambungan pipa transmisi lan distribusi gas kemurnian dhuwur lan kebersihan dhuwur kanthi tingkat aliran gedhe.
Ing asas, kabeh mau dilas, lan tabung sing digunakake kudu ora owah-owahan ing organisasi nalika welding wis Applied.Bahan kanthi kandungan karbon sing dhuwur banget tundhuk karo permeabilitas udara saka bagean sing dilas nalika ngelas, sing ndadekake penetrasi gas bebarengan ing njero lan njaba pipa lan ngrusak kemurnian, kekeringan lan kebersihan gas sing ditularake, sing nyebabake ilang kabeh usaha kita.
Ing ringkesan, kanggo gas kemurnian dhuwur lan pipa transmisi gas khusus, perlu nggunakake perawatan khusus pipa stainless steel kemurnian dhuwur, kanggo nggawe sistem pipa kemurnian dhuwur (kalebu pipa, fitting, katup, VMB, VMP) ing distribusi gas kemurnian dhuwur manggoni misi penting.
Konsep umum teknologi bersih kanggo saluran transmisi lan distribusi
Transmisi awak gas sing murni lan resik kanthi pipa tegese ana syarat utawa kontrol tartamtu kanggo telung aspek gas sing bakal diangkut.
Kemurnian gas: Isi atmosfer pengotor ing kemurnian gGas: Isi atmosfer pengotor ing gas, biasane dituduhake minangka persentase kemurnian gas, kayata 99,9999%, uga dituduhake minangka rasio volume isi atmosfer pengotor ppm, ppb, ppt.
Dryness: jumlah tilak Kelembapan ing gas, utawa jumlah disebut wetness, biasane ditulis ing syarat-syarat titik embun, kayata tekanan atmosfer titik embun -70.C.
Kebersihan: jumlah partikel kontaminan sing ana ing gas, ukuran partikel µm, jumlah partikel / M3 sing diekspresiake, kanggo udara sing dikompresi, biasane uga dituduhake kanthi jumlah mg / m3 residu padhet sing ora bisa dihindari, sing nutupi isi minyak. .
Klasifikasi ukuran polutan: partikel polutan, utamané nuduhake pipo scouring, nyandhang, karat kui dening partikel logam, partikel soot atmosfer, uga mikroorganisme, phages lan Kelembapan-ngemot tetesan kondensasi gas, etc., miturut ukuran ukuran partikel sawijining dipérang dadi
a) Partikel gedhe - ukuran partikel ing ndhuwur 5μm
b) Partikel - diameteripun materi antarane 0.1μm-5μm
c) Partikel ultra-mikro - ukuran partikel kurang saka 0,1μm.
Kanggo nambah aplikasi teknologi iki, supaya bisa ngerteni ukuran partikel lan unit μm, sakumpulan status partikel tartamtu diwenehake kanggo referensi.
Ing ngisor iki minangka perbandingan partikel tartamtu
| Nama / Ukuran partikel (µm) | Nama / Ukuran partikel (µm) | Nama/Ukuran partikel (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Bahan bakar nuklir 0.01-0.1 | Cat 0.1-6 | Fly awu 1-200 |
| Karbon ireng 0.01-0.3 | Susu bubuk 0.1-10 | Pestisida 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakteri 0.3-30 | Lebu semen 5-100 |
| Kumelun rokok 0.01-1 | Lebu pasir 0,5-5 | Serbuk sari 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Pestisida 0,5-10 | Rambut manungsa 50-120 |
| uyah kristal 0,03-0,5 | Lebu belerang pekat 1-11 | Pasir segara 100-1200 |
Wektu kirim: Jun-14-2022