Kita mbantu jagad sing tuwuh wiwit taun 1983

Solusi teknologi kanggo sistem pangiriman gas tinggi kanggo proses semikonduktor

Teknologi Piping gas dhuwur minangka bagean penting saka sistem sumber gas sing dhuwur, yaiku teknologi utama kanggo ngirim gas kesucian sing dibutuhake kanggo titik panggunaan lan isih njaga kualitas layak; Teknologi Pipa pusunan gas sing dhuwur kalebu desain sistem sing bener, pilih aksesoris, konstruksi lan instalasi, lan tes. Ing taun-taun pungkasan, syarat sing tegas ing kemurnian lan gas sing ora pati penting ing produksi produk mikroelectronic sing diwakili dening sirkuit skala skala kanthi ukuran gas murni saya tambah prihatin lan negesake. Ing ngisor iki minangka ringkesan ringkes pipa gas sing dhuwur saka pilihan materiof Konstruksi, uga nrima lan manajemen saben dina.

Jinis Gas Umum

Klasifikasi gas umum ing industri elektronik:

Gas umum(Gas akeh): hidrogen (h2), nitrogen (n2), oksigen (o2), argon (a2), lsp.

Gas khususiku sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, SII2CL2 SIICCL3,NH3,  BCL3 ,Sif4 ,CLF3 ,Co,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6...... lsp.

Jinis Gas khusus umume bisa diklasifikasikake minangka corrosivegas, beracungas, flammablegas, bisa dibakargas, inertgas, lsp. Gas semikonduktor sing umume digunakake umume diklasifikasikake kaya ing ngisor iki.

(i) corrosive / beracungas: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, Nh3, PH3, Cl2, Bcl3... lsp.

(ii) Flammabilitygas: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch3F, Co ... etc.

(III) Combustibilitygas: O2, Cl2, N2O, nf3... lsp.

(iv) inertgas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, NE, Kr, ... lsp.

Akeh gas semikonduktor mbebayani kanggo awak manungsa. Khususé, sawetara gas iki, kayata sih4 Pangobongan spontan, anggere bocor bakal reaksi bakal reaksi kanthi oksigen ing udhara lan wiwit ngobong; lan awu3Beracun banget, bocor sethithik bisa nyebabake risiko urip manungsa, amarga saka bebaya sing jelas, saengga syarat kanggo keamanan desain sistem dhuwur.

Ruang lingkup gas  

Minangka bahan mentah dhasar industri modern saka industri modern, produk gas digunakake, lan pirang-pirang gas umum utawa gas, mesin, keramik, bahan bangunan, konstruksi, pemeriksaan panganan, obat lan sektor medis. Aplikasi saka gas duwe pengaruh penting ing teknologi sing dhuwur saka lapangan iki utamane, lan gas bahan mentah sing ora pati jelas utawa gas proses. Mung kanthi kebutuhan lan promosi macem-macem sektor industri anyar lan ilmu pengetahuan modern, produk industri gas bisa dikembangake dening kabisat lan wates ing macem-macem jinis, kualitas lan jumlah.

Aplikasi gas ing industri mikroelector lan semikonduktor

Panggunaan gas mesthi nduweni peran penting ing proses semikonduktor, utamane proses semikonduktor, utamane ing industri, TFT-LCD tradisional menyang industri mikrosik sing diarani sing diarani minangka proses produksi produk. Kemurnian gas duwe pengaruh sing nemtokake babagan kinerja komponen lan ngasilake produk, lan safety sumber gas ana gandhengane karo kesehatan personel lan keamanan tanduran.

Pentinge pipa sing penting ing transportasi gas kanthi dhuwur

Ing proses lebur baja tahan karat tahan karat tahan karat tahan lan nggawe bahan, kira-kira 200g gas bisa diserep saben ton. Sawise pangolahan stainless steel, ora mung permukaan lengket karo macem-macem rereged, nanging uga ing kisi logam uga nyerep gas tartamtu. Yen ana Airflow liwat pipo, logam nyerep bagean gas iki bakal mlebu ing udara, polusi gas murni. Nalika udara ing tabung kasebut ora ana aliran, tabung adsorbs gas kanthi tekanan, lan gas sing wis dirampungake, lan gas sing wis dirampungake kanggo mutusake, lan gas sing wis ditemtokake uga mlebu ing gas murni. Ing wektu sing padha, adsorption lan resolusi diulang, saéngga logam ing permukaan jero tabung uga ngasilake bubuk tartamtu, lan partikel bledug logam uga ngrusak gas murni ing tabung. Karakteristik tabung kasebut penting kanggo njamin kemurnian gas sing diangkut, sing ora mung lancar lancar sing dhuwur banget ing permukaan tabung, nanging uga resistensi sing dhuwur.

Nalika gas kanthi kinerja korosisi sing kuwat digunakake, pipa stainless steel tahan karat kudu digunakake kanggo piping. Yen ora, pipa kasebut bakal ngasilake bintik-bintik karat ing permukaan batin amarga karat, lan ing kasus sing serius, bakal ana area logam sing gedhe utawa malah ana boneka gas murni supaya disebar.

Sambungan saka kemurnian dhuwur lan pipa transmisi gas lan distribusi gas dhuwur saka tarif aliran gedhe.

Minangka prinsip, kabeh padha dilas, lan tabung sing digunakake dibutuhaké kanggo ora ana organisasi nalika welding ditrapake. Bahan kanthi kandungan karbon sing dhuwur banget kanggo permeabilitas udhara saka bagean sing dilengkapi nalika welding, sing nggawe sengaja gas, lan ngresiki kabeh upaya.

Ringkesan, kanggo gas murni lan pipa transmisi gas khusus, kudu nggunakake pipa khusus stainless steel, kanggo nggawe pipa, katup, VMP, VMB, VMB

Konsep umum teknologi resik kanggo transmisi lan pipal distribusi

Transmisi awak gas sing murni banget lan resik kanthi pipo tegese ana syarat tartamtu utawa kontrol kanggo telung aspek gas sing bakal diangkut.

Gas purity: The content of impurity atmosphere in the gGas purity: The content of impurity atmosphere in the gas, usually expressed as a percentage of gas purity, such as 99.9999%, also expressed as the volume ratio of impurity atmosphere content ppm, ppb, ppt.

Pangatosan: Jumlah kelembapan trace ing gas, utawa jumlah sing diarani wetness, biasane ditulis ing syarat-syarat titik embun, kayata tekanan embun atmosfer. C.

Kabersihan: Jumlah partikel kontamin sing ana ing gas, ukuran partikel μm, pira partikel / M3 kanggo nyatakake, amarga udhara sing dikompres, biasane uga ditulis ing pirang-pirang mg / m3 residu padat sing ora bisa diowahi, sing kalebu konten lenga.

Klasifikasi ukuran polong: partikel polos, utamane nuduhake pipa, nyandhang, partikel sotsorganis, lan sapiturute, miturut ukuran ukuran partikel kasebut dipérang dadi

a) partikel gedhe - ukuran partikel ndhuwur 5μm

b) partikel - diameter materi antarane 0.1μm-5μm

c) partikel ultra-mikro - ukuran partikel kurang saka 0.1μm.

Supaya bisa nambah aplikasi teknologi iki, supaya bisa ngerteni pangerten babagan ukuran partikel lan unit μm, minangka status partikel khusus diwenehake kanggo referensi

Ing ngisor iki minangka perbandingan partikel khusus

Jeneng / Ukuran Partikel (μm)

Jeneng / Ukuran Partikel (μm) Jeneng / Ukuran Partikel (μm)
Virus 0.003-0.0 Aerosol 0.03-1 Microdhopletet Microddedoplet 1-12
Bahan bakar nuklir 0.01-0.1 Cat 0.1-6 Fly Ash 1-200
Karbon ireng 0.01-0.3 Bubuk susu 0.1-10 Pestisida 5-10
Resin 0.01-1 Bakteri 0.3-30 Semen debu 5-100
Rokok ngrokok 0,01-1 Dust wedhi 0.5-5 Serbuk sari 10-15
Silicone 0,02-0.1 Pestisida 0,5-10 Rambute manungsa 50-120
Salk kristal 0.03-0.5 Konsentrasi Sulfur Cemut 1-11 SEA Sand 100-1200

Wektu kirim: Jun-14-2022